Functionalization of Silica Nanoparticles and Native Silicon Oxide with Tailored Boron-Molecular Precursors for Efficient and Predictive p-Doping of Silicon

Mathey, Laurent; Alphazan, Thibault; Valla, Maxence; Veyre, Laurent; Fontaine, Hervé; Enyedi, Virginie; Yckache, Karim; Danielou, Marianne; Kerdiles, Sébastien; Guerrero, Jean; Barnes, Jean-Paul; Veillerot, Marc; Chevalier, Nicolas; Mariolle, Denis; Bertin, François; Durand, Corentin; Berthe, Maxime; Dendooven, Jolien; Martin, François; Thieuleux, Chloé; Grandidier, Bruno; Copéret, Christophe

doi:10.1021/acs.jpcc.5b03408

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Functionalization of Silica Nanoparticles and Native Silicon Oxide with Tailored Boron-Molecular Precursors for Efficient and Predictive p-Doping of Silicon

Mathey, Laurent C2P2, CPE Lyon, 43 Bd du 11 Nov. 1918, Villeurbanne 69616 Cedex, France
Alphazan, Thibault C2P2, CPE Lyon, 43 Bd du 11 Nov. 1918, Villeurbanne 69616 Cedex, France
Valla, Maxence Department of Chemistry and Applied Biosciences, ETH Zürich, Vladimir Prelog Weg. 1-5, CH-8093 Zürich, Switzerland
Veyre, Laurent C2P2, CPE Lyon, 43 Bd du 11 Nov. 1918, Villeurbanne 69616 Cedex, France
Fontaine, Hervé CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France
Enyedi, Virginie CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France
Yckache, Karim CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France
Danielou, Marianne CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France
Kerdiles, Sébastien CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France
Guerrero, Jean CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France
Barnes, Jean-Paul CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France
Veillerot, Marc CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France
Chevalier, Nicolas CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France
Mariolle, Denis CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France
Bertin, François CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France
Durand, Corentin Institut d’Electronique et de Microélectronique et de Nanotechnologies (IEMN), CNRS, UMR 8520, Département ISEN, 41 bd Vauban, Lille 59046 Cedex, France
Berthe, Maxime Institut d’Electronique et de Microélectronique et de Nanotechnologies (IEMN), CNRS, UMR 8520, Département ISEN, 41 bd Vauban, Lille 59046 Cedex, France
Dendooven, Jolien Department of Solid State Sciences, Ghent University, Krijgslaan 281−S1, B-9000 Gent, Belgium
Martin, François CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France
Thieuleux, Chloé C2P2, CPE Lyon, 43 Bd du 11 Nov. 1918, Villeurbanne 69616 Cedex, France
Grandidier, Bruno Institut d’Electronique et de Microélectronique et de Nanotechnologies (IEMN), CNRS, UMR 8520, Département ISEN, 41 bd Vauban, Lille 59046 Cedex, France
Copéret, Christophe Department of Chemistry and Applied Biosciences, ETH Zürich, Vladimir Prelog Weg. 1-5, CH-8093 Zürich, Switzerland